Ó thaobh gairmiúil de, tá próiseas táirgthe sliseanna thar a bheith casta agus leadránach. Mar sin féin, ó thaobh slabhra tionsclaíoch iomlán IC de, tá sé roinnte ina cheithre chuid den chuid is mó: dearadh IC → monarú IC → pacáistiú → tástáil.
Próiseas táirgthe sceallóga:
1. Dearadh sliseanna
Is táirge é an tslis a bhfuil toirt bheag aige ach cruinneas thar a bheith ard. Chun sliseán a dhéanamh, is é an dearadh an chéad chuid. Éilíonn an dearadh cabhair ó dhearadh na slise den dearadh slise atá riachtanach le haghaidh próiseála le cabhair ón uirlis EDA agus roinnt croíleacáin IP.
Próiseas táirgthe sceallóga:
1. Dearadh sliseanna
Is táirge é an tslis a bhfuil toirt bheag aige ach cruinneas thar a bheith ard. Chun sliseán a dhéanamh, is é an dearadh an chéad chuid. Éilíonn an dearadh cabhair ó dhearadh na slise den dearadh slise atá riachtanach le haghaidh próiseála le cabhair ón uirlis EDA agus roinnt croíleacáin IP.
3. Ardaitheoir sileacain
Tar éis an sileacan a dheighilt, tréigtear na hábhair atá fágtha. Tar éis roinnt céimeanna, sroicheann sileacan íon cáilíocht déantúsaíochta leathsheoltóra. Is é seo an rud ar a dtugtar sileacan leictreonach.
4. Ingotáin réitigh sileacain
Tar éis é a íonú, ba chóir an sileacan a chaitheamh i dtinní sileacain. Tar éis é a chaitheamh i dtinní, meáchan criostail aonair de shileacan grád leictreonach thart ar 100 kg, agus sroicheann íonacht an tsiliceain 99.9999%.
5. Próiseáil comhad
Tar éis an t-ingot sileacain a chaitheamh, ní mór an t-ingot sileacain ar fad a ghearradh ina phíosaí, arb é an vaiféar é ar a dtugaimid an vaiféar go coitianta, atá an-tanaí. Ina dhiaidh sin, snastar an vaiféar go dtí go mbeidh sé foirfe, agus go mbeidh an dromchla chomh mín leis an scáthán.
Is é trastomhas 8 n-orlach (200mm) agus 12 orlach (300mm) na sceallóga sileacain. Dá mhéad an trastomhas, is ísle costas slise aonair, ach is airde an deacracht próiseála.
5. Próiseáil comhad
Tar éis an t-ingot sileacain a chaitheamh, ní mór an t-ingot sileacain ar fad a ghearradh ina phíosaí, arb é an vaiféar é ar a dtugaimid an vaiféar go coitianta, atá an-tanaí. Ina dhiaidh sin, snastar an vaiféar go dtí go mbeidh sé foirfe, agus go mbeidh an dromchla chomh mín leis an scáthán.
Is é trastomhas 8 n-orlach (200mm) agus 12 orlach (300mm) na sceallóga sileacain. Dá mhéad an trastomhas, is ísle costas slise aonair, ach is airde an deacracht próiseála.
7. Éclipse agus instealladh ian
Ar dtús, is gá ocsaíd sileacain agus níotráit sileacain atá nochta lasmuigh den fhótafhriotaíocht a chreimeadh, agus sraith sileacain a dhé-ocsaídiú chun an feadán criostail a insliú, agus ansin an teicneolaíocht greanta a úsáid chun an sileacan bun a nochtadh. Ansin instealladh an bórón nó an fosfar isteach sa struchtúr sileacain, ansin líon an copar chun nascadh le trasraitheoirí eile, agus ansin cuir sraith eile gliú air chun sraith struchtúir a dhéanamh. Go ginearálta, bíonn mórán sraitheanna i sliseanna, cosúil le mórbhealaí dlúthfhite.
7. Éclipse agus instealladh ian
Ar dtús, is gá ocsaíd sileacain agus níotráit sileacain atá nochta lasmuigh den fhótafhriotaíocht a chreimeadh, agus sraith sileacain a dhé-ocsaídiú chun an feadán criostail a insliú, agus ansin an teicneolaíocht greanta a úsáid chun an sileacan bun a nochtadh. Ansin instealladh an bórón nó an fosfar isteach sa struchtúr sileacain, ansin líon an copar chun nascadh le trasraitheoirí eile, agus ansin cuir sraith eile gliú air chun sraith struchtúir a dhéanamh. Go ginearálta, bíonn mórán sraitheanna i sliseanna, cosúil le mórbhealaí dlúthfhite.
Am an phoist: 08 Iúil 2023
